日本TOKICO超声波涡街流量计

                    日本Tokico超声波涡街流量计

   一、产品简介

   Tokico超声波涡街流量计接触液体部分使用PFA材质，由PFA树脂进行一体成型制造而成，采用传感器不会与液体接触的结构，耐腐蚀性卓越，适用于化学药品、腐蚀性液体和超纯水等的测量。PFA（可溶性聚四氟乙烯）具有卓越的耐化学性，是与化学药品接触的半导体领域的最佳选择。

   二、测量原理

   流体的流速与卡曼涡旋产生频率成正比，通过检超声波检测涡旋的数量来测量流量。Tokico超声波涡街流量计通过超声波的相位差(时间差)检测涡流，并测量流速。

   三、产品用途

   应用于半导体制造设备和液晶制造设备上等，适用于IC半导体洗净RCA、IMEC工艺制造、湿法刻蚀化学药液流量的循环监控及药液配比。

    四、产品特征和优势：

    1、液体接触部分使用了具有卓越耐腐蚀性的PFA材质，采用了传感器不与液体接触的结构；

    2、LED显示屏使用易于查看数值；

    3、采用了不会积存液体的无气囊结构；

    4、使用高频超声波传感器，不易受到管道振动等机械噪声的影响；

    5、在众多流量范围内均可以进行高精度测量。

    五、标准规格

                   六、线性化补偿示例